[发明专利]连接电气信号用坐标变换装置

摘要

本发明公开了一种连接电气信号用坐标变换装置；该装置用在可因应狭密间距焊垫的探针卡上，特别是容易从测头，布线至检查装置电路板，且防止电气接触不良；因此在连接电气信号用坐标变换装置上，因应探针输出端之一的第1布线群输入端，是由可在yz平面内，独立活动的至少2个端子所构成；接触导通前述探针输出端、与前述第1布线群输入端时，前述第1布线群输入端的第1端子壁面，会接触前述探针输出端的一侧，且第2端子壁面，会接触前述探针输出端的相反侧。

主权项

1.一种连接电气信号用坐标变换装置，其特征在于：使用黏接金属箔的树脂胶膜，并蚀刻加工前述金属箔后，在树脂胶膜上形成包含探针功能且构成导电体的导电图案；层迭数片前述附探针功能的树脂胶膜，让前述探针前端部，完全接触半导体芯片的电极焊垫，以进行半导体芯片回路检查的测头组装；使用黏接金属箔的树脂胶膜，蚀刻加工前述金属箔，并于树脂胶膜上形成导电图案，而自树脂胶膜外周，突出前期导电图案的输入端及输出端，将前述探针输出端间距，视为输入端间距后，在第1水平方向(y向)，将间距比自该输入端间距稀疏的间距，视为输出端后，即属第1布线群；将第1布线群输出端间距，视为输入端间距后，在第1水平方向上呈直交的第2水平方向(x向)上；及将间距比该输入端间距稀疏的间距，视为输出端，而属第2布线群的连接电气信号用坐标变换装置上，因应前述探针输出端之一的前述第1布线群输入端，是由可在y z平面内独立活动的至少2个端子所构成，接触导通前述探针的输出端、与前述第1布线群输入端时，前述第1布线群输入端的第1端子壁面，会接触前述探针输出端的一侧，且第2端子壁面，会接触前述探针输出端的相反侧。