[发明专利]液体特性传感器

摘要

用于检测液体特性的液体特性传感器(10)包括半导体板(1)、第一电极(4a)和第二电极(4b)、以及保护膜(3)。第一和第二电极(4a、4b)设置在半导体板(1)上，彼此间隔预定距离。保护膜(3)相对于该液体具有抵抗性。第一和第二电极(4a、4b)根据液体的相对介电常数来检测其间的电容作为液体的特性。半导体板(1)的电容－电压转换电路(6)将电容转换成电压值。

主权项

1.一种用于检测液体特性的液体特性传感器(10)，该液体特性传感器包括：半导体板(1)，其包括设置在该半导体板的表面上的绝缘膜(2)，以及具有电容-电压转换电路的信号处理电路(6)；第一电极(4a)和第二电极(4b)，所述电极设置在该半导体板的该表面上以便彼此间隔预定距离；以及保护膜(3)，其设置在该半导体板上以覆盖该半导体板的其上设置了所述第一和第二电极的所述表面，所述保护膜对于该液体具有抵抗性，并且所述保护膜被暴露于所述液体，其中所述第一和第二电极(4a、4b)根据所述液体的相对介电常数来检测其间的电容作为所述液体的特性，并且所述电容-电压转换电路(6)将所述第一和第二电极之间的电容转换成电压值。