[发明专利]抽空装置无效
| 申请号： | 200710167655.8 | 申请日： | 2007-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN101230858A | 公开（公告）日： | 2008-07-30 |
| 发明（设计）人： | 谷川志郎;中山贵光;武藤龙介;户田美奈子 | 申请（专利权）人： | 阿耐思特岩田株式会社 |
| 主分类号： | F04C23/00 | 分类号： | F04C23/00;F04C25/02;F24F7/06 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 曲莹 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开一种抽空装置。其用于抽空箱、腔等，其中，在外部真空泵的上游侧设置机械式真空升压泵；其中机械式升压泵具有用于排放低压缩气体的排气孔和用于排放高压缩气体的排气孔；其中，当外部真空泵开始排放气体时，气体通过用于排放低压缩气体和用于排放高压缩气体的所有排气孔输送到外部真空泵，当排放气体的压力随后达到通过外部真空泵获得的最终压力(中度真空)时，气体只通过用于排放高压缩气体的排气孔输送到外部真空泵。 | ||
| 搜索关键词： | 抽空 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于抽空箱、腔等的抽空装置，其中，在外部真空泵的上游侧设置机械式升压泵；其中，机械式升压泵包括用于排放低压缩气体的排气孔和用于排放高压缩气体的排气孔；其中，当外部真空泵开始排放气体时，气体通过用于排放低压缩气体的排气孔和用于排放高压缩气体的排气孔输送到外部真空泵，当排放气体的压力随后达到通过外部真空泵获得的最终压力时，气体只通过用于排放高压缩气体的排气孔输送到外部真空泵。
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