[发明专利]一种多晶硅铸锭炉

摘要

本发明是一种多晶硅铸锭炉，特别涉及太阳能多晶硅的铸锭炉。包括炉底、炉筒、炉盖组成的工作室，炉底通过液压提升缸与炉筒安装在炉筒上，炉底上设置有观察孔，炉底上安装着由滑座、丝杠、减速器、电机、导向导轨等组成的下传动部件，滑座通过连杆带动保温底板移动，使得保温底板与保温罩脱开满足工艺需要。炉底内装有支撑柱支撑导热块，导热块上面放置被加热的多晶硅料及坩埚系统，多晶硅料及坩埚系统通过加热器进行加热，炉盖上部安装着观察孔和充气孔；三组温度传感器用来测量工艺温度；液压提升油缸用来升降炉底，实现装料、取料工作。

主权项

1、一种多晶硅铸锭炉，包括炉底2通过液压提升缸20与炉筒6相连接并通过支腿5、调整垫铁4安装在机座1上，炉盖9安装在炉筒6上，炉底2上设置有观察孔3，安装着由滑座25、丝杠26、减速器27、电机28、导向导轨29等组成的下传动部件，滑座25通过连杆23与保温底板21连接，并通过波纹管24实现密封，滑座25移动通过连杆23带动保温底板21移动，使得保温底板21与保温罩15脱开满足工艺需要。炉底2内装有支撑柱22支撑导热块18，导热块18上面放置被加热的多晶硅料及坩埚系统16，多晶硅料及坩埚系统16通过加热器17进行加热，加热器17的加热能量通过水冷电缆11和电极8传送，电极8通过绝缘套14与炉盖9连接；保温罩15通过支脚19与炉筒6固定，炉筒6又抽真空口7，炉盖9上部安装着观察孔12和充气孔13；温度传感器10、30、31用来测量工艺温度；液压提升油缸20用来升降炉底2，实现装料、取料工作。