[发明专利]一种硫属相变存储器CRAM存储元无效

专利信息
申请号: 200710168408.X 申请日: 2007-11-22
公开(公告)号: CN101159313A 公开(公告)日: 2008-04-09
发明(设计)人: 王嘉赋;向宏酉;李娟 申请(专利权)人: 武汉理工大学
主分类号: H01L45/00 分类号: H01L45/00;H01L27/24;G11C11/56
代理公司: 武汉开元专利代理有限责任公司 代理人: 潘杰
地址: 430070湖*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明涉及一种硫属相变存储器CRAM存储元,其材料层从下到上依次为:下电极;第一相变层;加热层;第二相变层和上电极;加热层尺寸小于相变层,第一相变层、加热层、第二相变层形成“工”形结构。本发明相比目前的硫属相变存储器CRAM的结构,不同之处在于合理利用了GST相变材料的隔热功能,使用了第一GST相变层+加热层+第二相变层的“工”形结构,充分利用了加热层的两端同时加热的功能以及利用GST相变材料的自身加热隔热功能提高加热效率并简化制造工艺,不仅在理论上给出了其优良性能的说明,而且通过模拟计算热场分布给出了较好的证明。
搜索关键词: 一种 属相 存储器 cram 存储
【主权项】:
1.一种硫属相变存储器CRAM存储元、其材料层从下至上依次为:下电极、第一相变层、加热层、第二相变层和上电极。
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