[发明专利]一种自动调焦调平装置有效
| 申请号： | 200710171209.4 | 申请日： | 2007-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN101201546A | 公开（公告）日： | 2008-06-18 |
| 发明（设计）人： | 李志丹;李尧;陈飞彪;潘炼东;葛贵臣;张冲;肖可云 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00;G03F9/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明为一种自动调焦调平装置，应用于光刻机中以测量出待测硅片表面相对于投影物镜焦平面的高度值和倾斜量，从而实现上述硅片的调焦调平。该自动调焦调平装置具有电气相连的光学模块和控制模块，其中该光学模块采用平板玻璃，摆脱了在机械尺寸上的限制，使本发明更容易实现高频振动并易于调节。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 调焦 平装 | ||
【主权项】：
1.一种自动调焦调平装置，应用于光刻机中以测量出待测硅片表面相对于投影物镜焦平面的高度值和倾斜量，从而实现上述硅片的调焦调平，其中，该自动调焦调平装置具有电气相连的光学模块和控制模块，其特征在于，该光学模块包括：照明单元，其将光源形成数个平行的子光束后再变为数个方形光斑；投影单元，其使上述每个方形光斑放大并投影成像在被测硅片上；探测单元，其探测上述光斑经待测硅片表面反射后成像的位置；及自检单元，其使上述光斑产生不同的光能量并发出一电信号。
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