[发明专利]一种同轴对准消色差光学系统

摘要

一种同轴对准消色差光学系统，包含：掩模标记照明系统，其包含从照明光纤出射端沿光轴放置的照明物镜组、滤波片、分束直角棱镜、孔径光阑和前组成像物镜组；掩模标记成像系统，其包含从掩模板下表面沿光轴放置的前组成像物镜组、孔径光阑、分束直角棱镜、后组成像物镜组和CCD摄像机接收面；曝光对象标记照明系统，由掩模标记照明系统和光学投影系统组成；曝光对象标记成像系统，由掩模标记成像系统和光学投影系统组成。本发明系统使对准光学系统的体积减小并利于光机装校；光学投影系统在对准可见光波段产生的色差由对准光学系统补偿，降低了光学投影系统的结构复杂度。

主权项

1.一种同轴对准消色差光学系统，包含同轴对准光学系统和同轴对准曝光系统，该同轴对准光学系统包含掩模标记照明系统和掩模标记成像系统，该同轴对准曝光系统包含曝光对象标记照明系统和曝光对象标记成像系统；其特征在于：所述的掩模标记照明系统包含：从照明光纤出射端开始沿光轴依次放置的照明物镜组、滤波片、分束直角棱镜、孔径光阑和前组成像物镜组，其对于依次放置在所述前组成像物镜组后的掩模板下表面上的掩模标记实现均匀照明；所述的掩模标记成像系统包含：从掩模板下表面开始沿光轴依次放置的前组成像物镜组、孔径光阑、分束直角棱镜、后组成像物镜组和CCD摄像机接收面，其对所述掩模板上的掩模标记实现清晰成像；所述的曝光对象标记照明系统是由掩模标记照明系统和光学投影系统组成的，即其包含：从照明光纤出射端开始沿光轴依次放置的照明物镜组、滤波片、分束直角棱镜、孔径光阑、前组成像物镜组、掩模板和光学投影系统，其对依次放置在光学投影系统后的曝光对象上表面上的曝光对象标记实现均匀照明；所述的曝光对象标记成像系统是由掩模标记成像系统和光学投影系统组成的，即其包含：从曝光对象上表面开始沿光轴依次放置的光学投影系统、掩模板、前组成像物镜组、孔径光阑、分束直角棱镜、后组成像物镜组和CCD摄像机接收面，其对所述曝光对象上的曝光对象标记实现清晰成像。