[发明专利]一种检测指定光强值所对应目标位置的方法有效
| 申请号： | 200710173572.X | 申请日： | 2007-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN101216677A | 公开（公告）日： | 2008-07-09 |
| 发明（设计）人： | 孙红梅 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种检测指定光强值所对应目标位置的方法，每次采样的位置均位于两侧最近两点的中心，且保证两边的两个采样点一个是大于指定光强值，一个小于指定光强值，与指定光强值之差的绝对值大于光强阈值。所有采样点必须位于一条直线上。当相邻两采样点的距离之差大于位置阈值的绝对值时，继续采样，直到小于位置阈值时，停止采样，再利用线形插值法得到指定光强值对应的目标位置。本发明既保证了定位目标的位置精度，又减少了花费的时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 指定 光强值 对应 目标 位置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种检测指定光强值所对应目标位置的方法，其特征在于，包括，(1)、在工件台上通孔像明区的一个确定位置采样第一点，保证采样的光强值与指定光强值差的绝对值大于光强阈值，且采样点光强值大于指定光强值；(2)、在垂直于通孔边缘线条方向，并远离通孔的暗区采样第二点，两点距离为L，保证采样的光强值与指定光强值之差的绝对值大于光强阈值，且采样点光强值小于指定光强值；(3)当第一点与第二点的位置距离大于位置阈值时，在第一点和第二点之间，距离第二点L/2处采样第三点；(4)若第三点的光强值与指定光强值之差的绝对值大于光强阈值，且第二点与第三点距离大于位置阈值时，进行第四点的采样；(5)、依此类推，每次采样的位置均位于两侧最近两点的中心，且保证两边的两个采样点一个是大于指定光强值，一个小于指定光强值，与指定光强值差的绝对值大于光强阈值；(6)、当相邻两采样点的距离之差大于位置阈值的绝对值时，继续采样，直到小于位置阈值时，停止采样。
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