[发明专利]五氧化三钛晶体的坩埚下降法生长方法有效

专利信息
申请号: 200710173604.6 申请日: 2007-12-28
公开(公告)号: CN101280456A 公开(公告)日: 2008-10-08
发明(设计)人: 李新华;吴宪君 申请(专利权)人: 上海晶生实业有限公司
主分类号: C30B29/16 分类号: C30B29/16;C30B11/00
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 代理人: 朱黎明
地址: 200443上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供生长五氧化三钛晶体的坩埚下降法生长方法,包括:(1)将原料TiO2和Ti按Ti3O5配料,混合均匀、压块;(2)压块原料装入坩埚中,坩埚转移至高温下降炉内,对整个系统升温抽真空至10-3-10-4Pa,当炉温达到1400-1700℃时充入惰性保护气体,继续升温至1800-1900℃;(3)炉温达到设定温度后,保温3-6小时,原料熔化充分,晶体生长的固液界面温度梯度在20-60℃/cm的范围内,坩埚下降速率在0.1-5.0mm/h之间;(4)待晶体生长结束后,在生长炉内适当位置保温10-24小时,然后以25-80℃/h的速度将炉温降至室温,对所生长的晶体进行退火处理。
搜索关键词: 氧化 晶体 坩埚 下降 生长 方法
【主权项】:
1.一种生长五氧化三钛晶体的坩埚下降法生长方法,包括以下步骤:(1)将原料TiO2和Ti按Ti3O5配料,混合均匀、压块;(2)将步骤(1)得到压块的原料装入坩埚中,坩埚转移至高温下降炉内,对整个系统升温并抽真空至10-3-10-4Pa,当炉温达到1400-1700℃时充入惰性保护气体,继续升温至设定温度,所述设定温度在1800-1900℃的范围内;(3)炉温达到设定温度后,保温3-6小时,使原料熔化充分,晶体生长的固液界面温度梯度在20-60℃/cm的范围内,坩埚下降速率控制在0.1-5.0mm/h之间;(4)待晶体生长结束后,在生长炉内适当位置保温10-24小时,然后以25-80℃/h的速度将炉温降至室温,对所生长的晶体进行退火处理。
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