[发明专利]五氧化三钛晶体的坩埚下降法生长方法有效
申请号: | 200710173604.6 | 申请日: | 2007-12-28 |
公开(公告)号: | CN101280456A | 公开(公告)日: | 2008-10-08 |
发明(设计)人: | 李新华;吴宪君 | 申请(专利权)人: | 上海晶生实业有限公司 |
主分类号: | C30B29/16 | 分类号: | C30B29/16;C30B11/00 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 朱黎明 |
地址: | 200443上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供生长五氧化三钛晶体的坩埚下降法生长方法,包括:(1)将原料TiO2和Ti按Ti3O5配料,混合均匀、压块;(2)压块原料装入坩埚中,坩埚转移至高温下降炉内,对整个系统升温抽真空至10-3-10-4Pa,当炉温达到1400-1700℃时充入惰性保护气体,继续升温至1800-1900℃;(3)炉温达到设定温度后,保温3-6小时,原料熔化充分,晶体生长的固液界面温度梯度在20-60℃/cm的范围内,坩埚下降速率在0.1-5.0mm/h之间;(4)待晶体生长结束后,在生长炉内适当位置保温10-24小时,然后以25-80℃/h的速度将炉温降至室温,对所生长的晶体进行退火处理。 | ||
搜索关键词: | 氧化 晶体 坩埚 下降 生长 方法 | ||
【主权项】:
1.一种生长五氧化三钛晶体的坩埚下降法生长方法,包括以下步骤:(1)将原料TiO2和Ti按Ti3O5配料,混合均匀、压块;(2)将步骤(1)得到压块的原料装入坩埚中,坩埚转移至高温下降炉内,对整个系统升温并抽真空至10-3-10-4Pa,当炉温达到1400-1700℃时充入惰性保护气体,继续升温至设定温度,所述设定温度在1800-1900℃的范围内;(3)炉温达到设定温度后,保温3-6小时,使原料熔化充分,晶体生长的固液界面温度梯度在20-60℃/cm的范围内,坩埚下降速率控制在0.1-5.0mm/h之间;(4)待晶体生长结束后,在生长炉内适当位置保温10-24小时,然后以25-80℃/h的速度将炉温降至室温,对所生长的晶体进行退火处理。
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