[发明专利]机器视觉动态标定系统与方法有效
| 申请号： | 200710173715.7 | 申请日： | 2007-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN101216681A | 公开（公告）日： | 2008-07-09 |
| 发明（设计）人： | 周金明;徐兵;蔡巍;谢威 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G06T7/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于步进光刻机的机器视觉动态标定系统与方法。所述机器视觉动态标定系统包括高精度的运动定位平台，成像镜头，CCD摄像机，图像采集卡，运动控制器以及控制计算机。通过运动控制器驱动运动定位平台按照一定路径运动，获取标记在CCD摄像机视场内各点的图像像素坐标以及相应的运动定位平台的物理坐标，将这些成对的像素及物理坐标输入控制计算机，通过标定算法模型进行计算，从而完成对机器视觉对准系统的标定。本发明利用步进光刻机自身的高精度运动定位平台对机器视觉系统进行动态标定，既不需要额外制作高精度静态标定板也无需开发特定的标定点提取算法，解决了传统机器视觉对准系统利用静态标定板标定的弊端。 | ||
| 搜索关键词： | 机器 视觉 动态 标定 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种机器视觉动态标定系统，用于步进光刻机的机器视觉对准系统的标定，其特征在于，包括：一运动定位平台；对准运动定位平台的成像镜头；连接成像镜头的CCD摄像机；用于采集CCD摄像机图像的图像采集卡；控制计算机以及可驱动运动定位平台的运动控制器。
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