[发明专利]控制和促进等离子体起辉的方法有效
| 申请号： | 200710175815.3 | 申请日： | 2007-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN101409975A | 公开（公告）日： | 2009-04-15 |
| 发明（设计）人： | 陈卓 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;G01J3/28;H01L21/00;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵镇勇 |
| 地址： | 100016北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种控制和促进等离子体起辉的方法，在等离子体正常起辉的步骤前，设置等离子体预起辉的步骤，在预起辉的步骤中，首先，设定等离子体光谱强度的阈值；然后，检测等离子体的光谱强度，当该光谱强度大于等于阈值时，停止等离子体预起辉的步骤，进行等离子体正常起辉的步骤。利用光谱的信息，自动判断和决定预起辉步骤的时间，可以确保预起辉步骤起辉稳定，并避免持续时间过长。能准确控制等离子体起辉过程。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 促进 等离子体 方法 | ||
【主权项】：
1、一种控制和促进等离子体起辉的方法，在等离子体正常起辉的步骤前，设置等离子体预起辉的步骤，其特征在于，所述等离子体预起辉的步骤包括：首先，设定等离子体光谱强度的阈值；然后，在等离子体预起辉的过程中，检测等离子体的光谱强度，当该光谱强度大于等于所述阈值时，停止所述等离子体预起辉的步骤，进行等离子体正常起辉的步骤。
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