[发明专利]一种基于狭缝波导的光学传感器

摘要

本发明公开了一种可用于测量物理量微小变化的光学纳米级传感器，其特征在于该光学传感器由输入波导和双狭缝波导组成，双狭缝波导结构由三个高折射率平板(2，4，6)、两个低折射率狭缝(3，5)和被覆层(1，7)组成。该器件可以将温度、加速度和压力等物理量转化为外部作用力，导致平板4发生移动，使传感器输出端两个狭缝中的光功率分布发生变化，从而可精确地获得外界物理量的变化。该传感器灵敏度高，适于高精度测量；支持不同波长的传输，可使用各种不同光源进行检测；波导尺寸远远小于常规光波导，更适宜于集成。

主权项

1.一个包括输入光波导和一个可动双狭缝波导的光学传感器结构，输入光波导的作用是将光耦合进双狭缝波导。双狭缝结构的作用是将光场限制在两个同向传输的低折射率狭缝中，两狭缝中的光场分布可以受到狭缝波导结构尺寸变化的影响。狭缝波导结构是由三个平板和两个狭缝相间形成的。