[发明专利]在碱性腐蚀液中保护易腐蚀MEMS器件的方法无效
| 申请号： | 200710176932.1 | 申请日： | 2007-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN101428753A | 公开（公告）日： | 2009-05-13 |
| 发明（设计）人： | 杨楷;陈大鹏;景玉鹏;焦斌斌;李志刚 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | B81C5/00 | 分类号： | B81C5/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100029*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及MEMS设计及加工技术领域，公开了一种在碱性腐蚀液中保护易腐蚀MEMS器件的方法，包括：将封蜡溶于有机溶剂中，制备封蜡的饱和溶液；对待腐蚀MEMS器件正面需要保护的区域进行滴液，将制备的封蜡饱和溶液滴到待腐蚀MEMS器件正面需要保护的区域；对所述经过滴液处理的待腐蚀MEMS器件进行烘干；将烘干后的待腐蚀MEMS器件放入碱性腐蚀液中进行腐蚀；腐蚀结束后，去除MEMS器件上的封蜡。利用本发明，使得正面器件的精细结构在强碱腐蚀过程中不受侵蚀，并保证了在涂敷过程中硅片上的精细结构不受损伤，有效的保护了MEMS器件，解决了MEMS器件制造工艺中的关键环节，为MEMS的发展带来更广阔的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 碱性 腐蚀 保护 mems 器件 方法 | ||
【主权项】：
1、一种在碱性腐蚀液中保护易腐蚀MEMS器件的方法，其特征在于，该方法包括：将封蜡溶于有机溶剂中，制备封蜡的饱和溶液；对待腐蚀MEMS器件正面需要保护的区域进行滴液，将制备的封蜡饱和溶液滴到待腐蚀MEMS器件正面需要保护的区域；对所述经过滴液处理的待腐蚀MEMS器件进行烘干；将烘干后的待腐蚀MEMS器件放入碱性腐蚀液中进行腐蚀；腐蚀结束后，去除MEMS器件上的封蜡。
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