[发明专利]动态控制高温炉内压力的方法无效
| 申请号： | 200710177784.5 | 申请日： | 2007-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN101440517A | 公开（公告）日： | 2009-05-27 |
| 发明（设计）人： | 董志远;赵有文;杨俊;段满龙 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/38;C30B29/40 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100083北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及新材料技术领域，特别是一种在高温升华法生长AlN体单晶的过程中，精确动态地控制高温炉内压力的方法。本方法的具体步骤为：在升温过程中，使压力电子控制器和微压压力变送器处于关闭状态，打开质量流量计并设定一定的流量。通过调整出气端的针型阀的开度使炉内的压力基本稳定在所要求的定值。在恒温过程中，即当炉内温度升到高温并开始恒定时，打开压力电子控制器和微压压力变送器，并设定恒定压力值，同时减小流量计流量为原流量的60％～80％。这样通过质量流量计、压力电子控制器、微压压力变送器的有机组合实现在恒温过程中精确动态地控制炉内压力的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 动态控制 高温 压力 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种动态控制高温炉内压力的方法，其特征在于，包括以下步骤：在升温过程中，使压力电子控制器和微压压力变送器处于关闭状态，打开质量流量计并设定流量；通过调整出气端针型阀的开度使炉内的压力稳定在设定值，直到进入恒温过程；在恒温过程中，打开压力电子控制器和微压压力变送器，设定恒定压力值，并减小流量计流量。微压压力变送器开始对炉内压力进行实时监控，根据炉内压力大于或小于设定值，输出指令使电子压力控制器处于关闭或开启状态，以实现对炉内压力进行精确动态地控制。
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