[发明专利]可变形镜和具有该可变形镜的光学拾取装置无效

专利信息
申请号: 200710180144.X 申请日: 2007-10-10
公开(公告)号: CN101162593A 公开(公告)日: 2008-04-16
发明(设计)人: 丁子英树;前田重雄;小寺秀俊;神野伊策 申请(专利权)人: 船井电机株式会社
主分类号: G11B7/135 分类号: G11B7/135;G02B17/00;G02B26/08
代理公司: 隆天国际知识产权代理有限公司 代理人: 王玉双
地址: 日本大阪*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种可变形镜,其包括:基板;下电极膜,其设置在基板上;压电膜,其设置在下电极膜上;上电极膜,其设置在压电膜上;绝缘膜,其设置在上电极膜上;以及镜膜,其设置在绝缘膜上。下电极膜、压电膜和上电极膜作为驱动部以使镜膜变形。上电极膜被分成多个分割电极,并且驱动部包括执行镜膜的主要变形的部分和执行镜膜的变形的微调的部分。
搜索关键词: 变形 具有 光学 拾取 装置
【主权项】:
1.一种可变形镜,包括:驱动部,其包括压电膜、以及将该压电膜夹在中间的第一电极膜和第二电极膜;基板,其用于支撑该驱动部,并且与该第一电极膜接触;以及镜膜,其通过该驱动部的驱动而变形;其中,该第一电极膜和该第二电极膜中的至少一个电极膜被分成多个分割电极;以及该驱动部包括执行该镜膜的主要变形的部分和执行该镜膜的变形的微调的部分。
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