[发明专利]干膜、微透镜以及它们的制造方法无效
| 申请号： | 200710181198.8 | 申请日： | 2007-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN101165592A | 公开（公告）日： | 2008-04-23 |
| 发明（设计）人： | 吉田伸;石川真义;林明弘;饭田雅史 | 申请（专利权）人： | JSR株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/027;G03F7/028;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 孙秀武;李平英 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种干膜、微透镜以及它们的制造方法。该干膜包含(I)具有三维十点平均粗糙度SRz为2.2μm以下、三维最大高度SRmax为4.0μm的表面且厚度是10～50μm的基膜、(II)在上述基膜(I)的表面上叠层的厚度2～200μm的放射线敏感性树脂组合物层以及(III)覆盖上述放射线敏感性树脂组合物层(II)的盖膜。 | ||
| 搜索关键词： | 透镜 以及 它们 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.干膜，其特征在于，包含：(I)具有三维十点平均粗糙度SRz为2.2μm以下、三维最大高度SRmax为4.0μm的表面且厚度是10～50μm的基膜，(II)在上述基膜(I)的表面上叠层的厚度为2～200μm的放射线敏感性树脂组合物层，和(III)覆盖上述放射线敏感性树脂组合物层(II)的盖膜。
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