[发明专利]表面形貌量测方法及其装置有效
| 申请号： | 200710181614.4 | 申请日： | 2007-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN101413788A | 公开（公告）日： | 2009-04-22 |
| 发明（设计）人： | 苏彦祯;陈俊贤 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周长兴 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种表面形貌量测装置，用于量测一待测物的表面形貌，包含：一激光单元，其发射激光至该待测物的表面以形成一激光定位点；一量测单元，根据激光定位点进行待测物表面的量测；以及一移动平台，其夹持该激光一单元与该量测单元中之一进行至少一维的移动；其中，该待测物与激光单元彼此间的相对位置不改变。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 形貌 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1、一种表面形貌量测装置，用于量测一待测物的表面形，包含：一激光单元，其发射激光至该待测物的表面以形成一激光定位点；一量测单元，根据激光定位点进行待测物表面的量测；以及一移动平台，其夹持该激光单元与该量测单元中之一者进行至少一维的移动；其中，该待测物与激光单元彼此间的相对位置不改变。
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