[发明专利]液滴喷头的控制方法、绘图方法和液滴喷出装置

摘要

本发明提供一种能够精度良好地控制喷出量的液滴喷出装置的控制方法、绘图方法合液滴喷出装置。对液滴喷头(15)的腔室加压，从与该腔室连通的喷嘴(31)向基板(8)喷出涂敷微小液滴(36)，该液滴喷出装置(1)具有使液滴喷头(15)和基板(8)相对移动的滑架(13)和载置台(4)。液滴喷头(15)具有对腔室加压的压电元件。在不从喷嘴(31)喷出微小液滴(36)时，压电元件以不从喷嘴(31)喷出微小液滴(36)的程度多次连续对腔室加压，使腔室内的功能液压力变动。压电元件根据与液滴喷头(15)相接的空气流(37)的风速，改变对腔室加压的压力的频率而进行加压。

主权项

1.一种液滴喷出装置，对液滴喷头的腔室加压，从与该腔室连通的喷咀向工件喷出功能液，其特征在于，具有使所述液滴喷头和所述工件相对移动的工作台，所述液滴喷头具有对所述腔室加压的加压部，在不从所述喷咀喷出所述功能液时，所述加压部以不从所述喷咀喷出所述功能液的程度多次连续对所述腔室加压，使所述功能液压力变动，所述加压部改变对所述腔室加压的压力的频率而进行加压。