[发明专利]用于测量绘图位置的方法和装置以及绘制图像的方法和装置无效
| 申请号： | 200710182196.0 | 申请日： | 2007-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN101140427A | 公开（公告）日： | 2008-03-12 |
| 发明（设计）人： | 福田刚志;水本学 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03B27/32 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 张成新 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了一种绘图位置测量方法，其中绘图点位置，在绘图表面和调制入射光与在绘图表面形成绘图点的曝光头相对彼此移动并且在相对移动过程中曝光头在绘图表面顺序形成绘图点以形成图像时，采用形成在绘图表面的检测狭缝被测量。在该方法中，相对移动过程中曝光头和检测狭缝之间的相对位置偏离被测量，采用检测狭缝测得的绘图点位置基于测得的位置偏离被校正。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 绘图 位置 方法 装置 以及 绘制 图像 | ||
【主权项】：
1.一种绘图位置测量方法，用于在绘图表面与用于调制入射光和在绘图表面形成绘图点的绘图点形成装置相对彼此移动、并且在相对移动过程中绘图点形成装置在绘图表面顺序形成绘图点以绘制图像时，通过位置测量装置测量绘图点位置，该方法包括步骤：测量在相对移动过程中由绘图点形成装置形成的每一绘图点和位置测量装置之间的相对位置；和基于所测量的相对位置确定绘图点位置。
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