[发明专利]真空保持设备及具有真空保持设备的晶片切割机

摘要

一种真空保持设备及一种具有真空保持设备的晶片切割机，真空保持设备包含有一进气端口、一输出端口、一真空产生器、一第一、第二电磁阀，一切换开关。进气端口接受气体来源，输出端口提供真空输出或气体输出，真空产生器具有气体入口、出口与真空出口。第一电磁阀的一端连接至进气端口，另一端连接至真空产生器的气体入口。第二电磁阀的一端以并联方式连接至进气端口与真空产生器的真空出口，另一端连接至输出端口。切换开关的一端连接至进气端口，另一端连接至真空产生器，正常操作时，切换开关为关闭，当突发的无电力状况发生时，切换开关为开启，使气体来源由此通路传输至真空产生器，以产生持续真空供晶片吸附。

主权项

1、一种真空保持设备，包含有：一进气端口，用以接受一气体来源；一输出端口，用以提供一真空输出或气体输出；一真空产生器，具有气体入口、气体出口与真空出口；一第一电磁阀，一端连接至该进气端口，另一端连接至该真空产生器的气体入口，当电力作动时，气体可流经该第一电磁阀而进入该真空产生器的气体入口，以产生真空；以及一第二电磁阀，一端以并联方式连接至该进气端口与该真空产生器的真空出口，一端连接至该输出端口，可操作地使该输出端口为气体输出或真空输出；以及其特征在于，一切换开关，一端连接至该进气端口，另一端连接至该真空产生器入口，当电力作动时，该切换开关为关闭，当无电力状况发生时，该切换开关为开启，气体来源可由此传输至该真空产生器的气体入口，以产生持续的真空。