[发明专利]显示装置及其制造方法无效
申请号: | 200710186020.2 | 申请日: | 2007-11-09 |
公开(公告)号: | CN101179084A | 公开(公告)日: | 2008-05-14 |
发明(设计)人: | 今村卓司 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L21/84;G02F1/1362 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 浦柏明;王忠忠 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 提供一种高成品率且可靠性高的显示装置及其制造方法。本发明的显示装置包括:衬底(1);电容器下部电极(20),具有形成在上述衬底(1)上的多晶硅膜(4)和设置在多晶硅膜(4)上的接触金属膜(5);栅极绝缘膜(6),形成在电容器下部电极(20)上;以及栅极金属电极(7),在栅极绝缘膜(6)上的与电容器下部电极(20)对置的位置上,以在俯视图中配置在电容器下部电极(20)的方式形成。 | ||
搜索关键词: | 显示装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种显示装置,其特征在于,具有:衬底;电容器下部电极,具有形成在上述衬底上的多晶硅膜和设置在上述多晶硅膜上的接触金属膜;栅极绝缘膜,形成在上述电容器下部电极上;以及栅极金属电极,在上述栅极绝缘膜上的与上述电容器下部电极对置的位置上,以在俯视图中配置在上述电容器下部电极的内侧的方式形成。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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