[发明专利]多方向投影式莫尔干涉仪以及使用该干涉仪的检查方法有效
| 申请号： | 200710188221.6 | 申请日： | 2007-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN101303223A | 公开（公告）日： | 2008-11-12 |
| 发明（设计）人： | 金珉永 | 申请（专利权）人： | 株式会社高永科技 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B9/023;G02B26/08;G02B7/00;G02B5/20 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 余朦;方挺 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及能够从多方向向检查对象物投射图形照明的多方向投影式莫尔干涉仪以及利用它的检查方法。本发明中，多方向投影式莫尔干涉仪包括：使检查对象物在X、Y方向移动的X－Y工作台(10)、对检查对象物(1)反射的图形影像进行拍摄的成像部(110)、接受图形照明投射使光路改变并投射的第1旋转镜部(120)、接受图形照明投射使光路改变并投射的第2旋转镜部(130)、将第1旋转镜部(120)投射的图形照明向检查对象物投射的多个第1固定镜部(140，150)、将第2旋转镜部(130)投射的图形照明向检查对象物投射的多个第2固定镜部(160，170)、以及产生图形照明的第1图形照明产生部(180)。 | ||
| 搜索关键词： | 多方 投影 莫尔 干涉仪 以及 使用 检查 方法 | ||
【主权项】：
1.一种多方向投影式莫尔干涉仪，其特征在于，包括：X-Y工作台，通过多个工作台移送机构可移动地设置并使检查对象物在X、Y方向移动；成像部，设置在所述X-Y工作台的上侧对由位于X-Y工作台的检查对象物反射的图形影像进行拍摄；第1及第2旋转镜部，设置在所述成像部，接受图形照明的投射使光路改变并投射；多个第1及第2固定镜部，分别设置在所述第1及第2旋转镜部，将第1及第2旋转镜部投射的图形照明向检查对象物投射；以及第1图形照明产生部，产生图形照明并被设置成能够将图形照明投射到所述第1及第2旋转镜部，其中，所述第1及第2旋转镜部具有各旋转镜的一端在垂直方向相互对着多层排列的旋转镜元件，所述旋转镜元件分别包括：镜旋转机构；可旋转地设置在所述镜旋转机构上侧的支架；以及设置在所述支架上并通过所述旋转机构在由所述支架支撑的状态下能够旋转的旋转镜。
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