[发明专利]一种含氟聚酰亚胺光波导材料及其制备方法无效
| 申请号： | 200710191071.4 | 申请日： | 2007-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN101246222A | 公开（公告）日： | 2008-08-20 |
| 发明（设计）人： | 周钰明;刘蓉;何曼;崔一平;张彤 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G02B1/04 | 分类号： | G02B1/04;G02B6/10;G02B6/13;G02B6/136 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人： | 叶连生 |
| 地址： | 21110*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种含氟聚酰亚胺光波导材料及其制备方法涉及集成光学器件中聚合物材料的制备的方法，可应用于波导光学器件，该材料由三单体缩合共聚得到，即由两个二胺单体与一个二酐单体缩合共聚或由两个二酐单体与一个二胺单体缩合共聚得到含氟聚酰亚胺，经提纯后，制成含氟聚酰亚胺N－甲基吡咯烷酮溶液，滴加在洁净的基片中央旋涂成膜，并干燥，固化。该材料玻璃化温度＞200℃，在光通讯波段1550nm处光学损耗＜0.6dB/cm，1550nm处的折射率在1.5～1.6。在该含氟聚酰亚胺薄膜上再旋涂一层光刻胶，烘干后，加掩模板进行掩模，光刻，显影，再经过反应离子刻蚀工艺刻蚀，去剩余光刻胶，制成聚合物平面波导。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 聚酰亚胺 波导 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种含氟聚酰亚胺光波导材料，其特征在于该材料由三单体缩合共聚得到，即由两个二胺单体与一个二酐单体缩合共聚或由两个二酐单体与一个二胺单体缩合共聚，所得含氟聚酰亚胺光波导材料的结构通式为：![]()
或者![]()
其中，二胺单体为：![]()
中的一种或两种的混合物，混合时二种二胺单体混合的摩尔比为1∶1～1∶10；二酐单体为：![]()
中的一种或两种的混合物，混合时二种二酐单体混合的摩尔比为1∶1～1∶10；其中，m，n为聚合度，m为1～1000，n为1～1000，F为氟原子。
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