[发明专利]准分子光照射器无效
| 申请号： | 200710193210.7 | 申请日： | 2007-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN101187459A | 公开（公告）日： | 2008-05-28 |
| 发明（设计）人： | 菱沼宣是;中村雅规 | 申请（专利权）人： | 优志旺电机株式会社 |
| 主分类号： | F21V21/34 | 分类号： | F21V21/34;H05B41/36;G21K5/10 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 钟强;关兆辉 |
| 地址： | 日本国东京*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种准分子光照射器，检测出准分子光照射器上配置的准分子灯中寿命到期的该准分子灯，补充不足的光输出，从而实质上不必停止基板处理装置。该准分子光照射器搭载在具有传送基板的传送机构，并照射准分子光，对基板进行处理的基板处理装置上，其特征在于：该准分子光照射器，相对基板传送方向成大致直角地并排配置多根大致棒状的准分子灯，具有可独立调整各准分子灯的输出的供给电源，具有检测各该准分子灯的光输出的检测功能，具有光输出补充功能，在来自至少一根该准分子灯的光输出未达到规定的输出时，补充与不足的光输出相当的光输出。 | ||
| 搜索关键词： | 分子 照射 | ||
【主权项】：
1.一种准分子光照射器，搭载在具有传送基板的传送机构，并照射准分子光，对基板进行处理的基板处理装置上，其特征在于：该准分子光照射器，相对基板传送方向成大致直角地并排配置多根大致棒状的准分子灯，具有可独立调整各准分子灯的输出的供给电源，具有检测各该准分子灯的光输出的检测功能，具有光输出补充功能，在来自至少一根该准分子灯的光输出未达到规定的输出时，补充与不足的光输出相当的光输出。
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