[发明专利]LICoO2的沉积

摘要

根据本发明，描述了用脉冲调制的dc物理气相沉积方法沉积LiCoO₂层。这种沉积可以提供LiCoO₂结晶层的低温、高沉积速率的沉积，所述LiCoO₂结晶层具有理想的<101>或<003>取向。所述沉积的一些实施方案解决了LiCoO₂膜的高速率沉积的需要，所述LiCoO₂膜可以用作固态可再充电Li电池中的阴极层。根据本发明的方法的实施方案可以消除常规上使所述LiCoO₂层结晶所需的高温(＞700℃)退火步骤。

主权项

1.一种沉积LiCoO2层的方法，所述方法包括：将衬底置于反应器中；至少使惰性气体流动通过所述反应器；将脉冲调制的DC功率施加到包含LiCoO2的溅射靶上；将所述靶安置成与所述衬底相对；在所述衬底上形成LiCoO2层；和向所述衬底和LiCoO2层应用快速热退火。