[发明专利]声波器件及其制造方法无效
| 申请号： | 200710194629.4 | 申请日： | 2007-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN101192815A | 公开（公告）日： | 2008-06-04 |
| 发明（设计）人： | 相川俊一;郡池圣;木村丈儿;津田庆三;北岛正幸;井上和则;松田隆志 | 申请（专利权）人： | 富士通媒体部品株式会社;富士通株式会社 |
| 主分类号： | H03H3/08 | 分类号： | H03H3/08;H03H9/10;H03H9/12;H03H9/145 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了声波器件及其制造方法。该声波器件的制造方法包括以下步骤：在其上具有声波元件的基板上形成第一密封部，从而使得所述声波元件的发生声波振荡的功能区域用作第一非覆盖部，并且使得用于进行个体化的切断区域用作第二非覆盖部；在所述第一密封部上形成第二密封部，从而覆盖所述第一非覆盖部和所述第二非覆盖部；以及切断所述基板和所述第二密封部，从而分开所述第二非覆盖部。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种声波器件的制造方法，该方法包括以下步骤：在其上具有声波元件的基板上形成第一密封部，从而使得所述声波元件的发生声波振荡的功能区域用作第一非覆盖部，并且使得用于进行个体化的切断区域用作第二非覆盖部；在所述第一密封部上形成第二密封部，从而覆盖所述第一非覆盖部和所述第二非覆盖部；以及切断所述基板和所述第二密封部，从而分开所述第二非覆盖部。
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