[发明专利]消除电子显微镜电子能量损失谱的能量漂移的方法及装置

摘要

一种消除电子显微镜电子能量损失谱的能量漂移的方法及装置，属于能谱测量分析和显微分析领域。该方法通过在电子显微镜1镜筒处的电子能量分析仪2接收电子能量，然后通过串行快响应能谱探测器3将接收到的电子能量损失谱经漂移检测模块5获得能谱漂移量后，将能谱漂移量输入到自适应限波器6，由自适应限波器根据信号发生器8提供的参考信号得到下一周期预测量，将预测量变换后输出到电子束漂移管9的电压控制电路或经高低压隔离模块10输入电子显微镜1的高压发生器11。使用该方法及相应装置能够实现对电子能量损失谱接受过程中可能出现的固定窄带频率干扰下能量漂移进行有效抑制。

主权项

1.一种消除电子显微镜的电子能量损失谱的能量漂移的方法，其特征在于，包含以下步骤：步骤1，将电子能量分析仪(2)置于电子显微镜(1)中样品后合适位置，接收来自于薄样品的透射或经样品表面反射的电子束；快响应能谱探测器(3)置于电子能量分析仪(2)后的能量色散面上，以一定周期T0重复采集电子能量分析仪出口处电子能量色散面或与电子能量色散面等效位置上按空间分布的一定能量范围内的电子能量损失谱；步骤2，在步骤1所述的每个能谱采集周期T0内对快响应能谱探测器(3)采集到的电子能量损失谱进行能谱漂移检测，获得能谱随时间的能量漂移量；步骤3，在步骤1所述的每个能谱采集周期T0内将步骤2中获得的能谱漂移量输入自适应陷波器(6)，由自适应陷波器(6)输出下一能谱采集周期的漂移预测量；步骤4，在步骤1所述的每个能谱采集周期T0内将步骤3中获得的漂移预测量经输出接口模块(7)转换后，输入到电子能量分析仪(2)的电子束漂移管(15)的电压控制电路或经高低压隔离模块(10)输入电子显微镜(1)的高压发生器(11)或其它具有改变电子在能量色散面上位置以抵消能量漂移的模块或装置。