[发明专利]辐射传感器无效
申请号: | 200710196673.9 | 申请日: | 2007-12-04 |
公开(公告)号: | CN101196423A | 公开(公告)日: | 2008-06-11 |
发明(设计)人: | T·J·克雷尔纳;P·J·斯特劳布;R·特威尼 | 申请(专利权)人: | 通用电气公司 |
主分类号: | G01K7/02 | 分类号: | G01K7/02;H01L35/34;H01L35/32 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 范晓斌;杨松龄 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 一种制造辐射传感器的方法,其中,在一个晶片上形成多个热堆,在另一晶片中形成多个用于热堆的封装件。各封装件包括形成的井,该井由窗口覆盖。这两个晶片在受控气体或真空环境中接合,使得各热堆处于井中并在封装件的窗口下面。 | ||
搜索关键词: | 辐射 传感器 | ||
【主权项】:
1.一种制造辐射传感器的方法,该方法包括:在一个晶片上形成多个热堆;在另一晶片中形成多个用于热堆的封装件,各封装件包括形成的井,该井由窗口覆盖;将这些晶片在受控气体或真空环境中接合,使得各热堆处于井中并处于封装件的窗口下面。
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