[发明专利]基板搬入搬出装置、基板搬运方法及其装置

摘要

本发明涉及基板搬入搬出装置、基板搬运方法及其装置，可将基板搬入搬出到基板箱的任意架上。在搬出在构成基板箱(1C)的箱主体(1)上被收纳于将以赋予张力的状态安装的多个金属丝(4)作为架板形成的各架(1R)上的基板(1G)时，使构成一对基板升降单元(1U1)的各基板升降臂(14)进入收纳有所述基板(G)的架(1R)的正下方的架(1R’)上，并使安装于所述各基板升降臂(14)上面的空气浮起单元(21)工作而喷出压力空气，从而将该基板(1G)在使其浮起的状态下引出。

主权项

1.一种基板搬运方法，是在依次经由多道工序在基板上形成半导体元件的半导体制造装置中，为了进行各工序的处理而沿着由按工序顺序配置的多个处理装置构成的处理装置组搬运所述基板的方法，其特征在于，所述基板在被暂时放置到配置于所述各处理装置之间的第一临时放置台上后，利用与各处理装置对应地配置的基板交接装置取出，并每一片地向后工序的处理装置搬运。