[发明专利]具有光敏元件的液晶显示器件及其制造方法

摘要

本发明公开了一种具有光敏元件的液晶显示器件及其制造方法，其中液晶显示器件，包括液晶面板，包括在其间具有液晶层而彼此粘接的第一和第二基板、和形成在第二基板上的用于传感来自环境的外部光的光敏元件，其中光敏元件包括半导体层，其形成在第二基板上并设置有n⁺型离子植入区域、非离子植入区域和轻掺杂区域；绝缘膜，形成在第二基板上，用于覆盖半导体层；钝化膜，形成在第二基板上，用于覆盖绝缘膜；第一接触孔，其穿过绝缘膜和钝化膜，从而暴露半导体层的源极和漏极区域；源极和漏极，通过第一接触孔与半导体层的源极和漏极区域连接；离子植入阻止膜，其形成在绝缘膜上并与非离子植入区域交迭；和第二接触孔，其穿过非离子植入区域之上的钝化膜和离子植入阻止膜，从而给非离子植入区域提供外部光。

主权项

1.一种具有光敏元件的液晶显示器件，包括：液晶面板，包括在其间具有液晶层而彼此粘接的第一和第二基板、和形成在第二基板上的用于传感来自环境的外部光的光敏元件，其中光敏元件包括：形成在第二基板i的缓冲层；通过使用第一掩模工序形成在缓冲层上的半导体层；形成在第二基板上用于覆盖半导体层的绝缘膜；通过使用第二掩模工序形成在绝缘膜上的栅极和离子植入阻止膜；通过使用第三和第四掩模工序形成在半导体层中的n+型和p型离子植入区域的至少一个；形成在半导体层中的非离子植入区域和轻掺杂区域；形成在第二基板的整个表面上的钝化膜；通过使用第五掩模工序形成的用于暴露半导体层的源区和漏区的第一接触孔和用于暴露离子植入阻止膜的第二接触孔；以及通过使用第六掩模工序形成的与半导体层中的n+型和p型离子植入区域的至少一个连接的源极和漏极。