[发明专利]溅镀式镀膜装置及镀膜方法无效
| 申请号： | 200710201193.7 | 申请日： | 2007-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN101353778A | 公开（公告）日： | 2009-01-28 |
| 发明（设计）人： | 颜士杰 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种溅镀式镀膜装置，其包括一个镀膜工作室；一个运载装置，其可沿所述镀膜工作室的底部的延伸方向做线性运动，该运载装置包括一个固定座及至少一承载台，所述至少一承载台可绕所述固定座旋转且其相对于该固定座设置，用于承载工件；以及至少一靶材，其设置在所述镀膜工作室内，用于对所述工件进行镀膜。所述溅镀式镀膜装置及镀膜方法可对工件的表面进行镀膜，并在不增加靶材的数量的前提下控制膜层的厚度，从而达到降低生产成本的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 溅镀式 镀膜 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种溅镀式镀膜装置，其包括：一个镀膜工作室；一个运载装置，其可沿所述镀膜工作室的底部的延伸方向做线性运动，该运载装置包括一个固定座及至少一承载台，所述至少一承载台可绕所述固定座旋转且其相对于该固定座设置，用于承载工件；以及至少一靶材，其设置在所述镀膜工作室内，用于对所述工件进行镀膜。
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