[发明专利]具有带反射涂层的反射镜元件的投影物镜有效
| 申请号： | 200710300394.2 | 申请日： | 2007-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN101221279A | 公开（公告）日： | 2008-07-16 |
| 发明（设计）人： | D·陈;H·－J·曼 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT股份公司 |
| 主分类号： | G02B17/06 | 分类号： | G02B17/06;G02B1/10;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王庆海;王小衡 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种光学系统具有多个使波长为λ的光从物平面向像平面成像的元件，该多个元件包括在光路上的具有反射表面的多个反射镜元件。多个反射镜元件中的至少一个是光瞳反射镜，其具有设置在或接近光学系统的光瞳表面的位置处的光瞳反射镜表面。剩余反射镜元件中的至少一个是高负荷的反射镜，其具有反射镜表面并被设置在产生所有剩余反射镜的入射角范围的最大值和平均入射角的最大值中的至少一个的位置，其中该剩余反射镜包括除了光瞳反射镜之外的所有反射镜。光瞳反射镜表面由设计为包括不同材料层的多层堆叠的一维渐变涂层的反射涂层形成，该层具有几何层厚度，其根据第一渐变函数在涂层的第一方向上变化且在垂直于第一方向的第二方向上基本恒定。高负荷的反射镜的反射镜表面被涂覆有根据第二渐变函数设计的渐变涂层的反射镜涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 反射 涂层 元件 投影 物镜 | ||
【主权项】：
1.一种光学系统，包括：多个被设置成使波长为λ的光从物平面向像平面成像的元件，该多个元件包括位于光路上的具有反射表面的多个反射镜元件；多个反射镜元件中的至少一个是光瞳反射镜，其具有设置在或接近光学系统的光瞳表面的位置处的光瞳反射镜表面；并且剩余反射镜元件中的至少一个是高负荷的反射镜，其具有反射镜表面并被设置在产生所有剩余反射镜的入射角范围的最大值和平均入射角的最大值中的至少一个的位置，其中该剩余反射镜包括除了光瞳反射镜之外的所有反射镜；其中光瞳反射镜表面是通过设计为包括不同材料层的多层堆叠的一维渐变涂层的反射涂层形成，该多层具有几何层厚度，该厚度根据第一渐变函数在涂层的第一方向上变化并且在垂直于第一方向的第二方向上基本恒定；和其中高负荷的反射镜的反射镜表面被涂覆有根据第二渐变函数设计的渐变涂层的反射镜涂层。
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