[发明专利]隔壁形成方法无效
| 申请号： | 200710301200.0 | 申请日： | 2007-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN101211733A | 公开（公告）日： | 2008-07-02 |
| 发明（设计）人： | 藤尾俊介;吉永隆史 | 申请（专利权）人： | 富士通日立等离子显示器股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J9/02 | 分类号： | H01J9/02;H01J9/24;H01J11/02 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明说明了一种隔壁形成方法，能够防止在除去抗蚀剂掩模的工序中的隔壁图案材料层的倒塌。在基板和隔壁材料层之间形成粘接层，该粘接层具有粘接力，该粘接力使得在将隔壁图案形成后的抗蚀剂掩模从所述隔壁材料层剥离除去的工序中，能够将所述隔壁材料层维持在基板上，且该粘接层由在烧结隔壁图案形成后的隔壁材料层的工序中会被烧尽的热烧尽性的材料构成。 | ||
| 搜索关键词： | 隔壁 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种隔壁形成方法，其特征在于：由以下工序构成：在基板上形成隔壁材料层，在其上形成抗蚀膜并进行抗蚀膜的图案形成，利用形成图案后的抗蚀膜除去不要部分的隔壁材料层，从而形成隔壁图案的材料层后，从该隔壁图案的材料层除去抗蚀膜，之后通过烧结隔壁图案的材料层而形成隔壁，具有在所述基板和隔壁材料层之间形成粘接层的工序，所述粘接层具有粘接力，该粘接力使得在从隔壁图案的材料层除去抗蚀膜时能够将所述隔壁图案的材料层维持在基板上，且该粘接层由在烧结隔壁图案的材料层时会被烧尽的热烧尽性的材料构成。
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