[发明专利]一种用于扫描力显微镜上安装悬臂梁探针的卡具

摘要

本发明涉及一种用于扫描力显微镜上安装悬臂梁探针的卡具。卡具由楔形块、磁铁、卡具主体和紧固小螺栓组成，卡具主体的下半部为筒体，上半部的一侧带有凸耳，凸耳上开有至筒体内壁的开口槽，开口槽将凸耳分为两片，一片上开螺纹孔，另一片上开光孔；卡具主体的上半部在带有凸耳一侧的内圆中设置半圆形平台，半圆形平台自圆心径向开有凹槽，半圆形平台的底部开有中心对称并与楔形块宽度和楔形块上底边厚度相同的通槽，通槽中嵌入楔形块；卡具主体上半部与下半部接壤处的外缘上沿凸耳向卡具主体中心开狭槽。该卡具安装到扫描力显微镜的扫描器上时定位准确、长期频繁使用可靠性和重复性好，悬臂梁探针容易更换并能够沿悬臂梁方向前后位置可调。

主权项

1.一种用于扫描力显微镜上安装悬臂梁探针的卡具，其特征是，卡具由楔形块[1]、磁铁[3]、卡具主体[4]和紧固小螺栓[5]组成，卡具主体[4]的下半部为筒体，上半部的一侧带有凸耳[8]，凸耳[8]上开有至筒体内壁的开口槽[12]，开口槽[12]将凸耳[8]分为两片，一片上开螺纹孔，另一片上开光孔；卡具主体[4]的上半部在带有凸耳[8]一侧的内圆中设置半圆形平台[11]，半圆形平台[11]自圆心径向开有使入射至悬臂梁探针针尖背面的激光束通过的凹槽[7]，半圆形平台[11]的底部开有中心对称并与楔形块[1]宽度和楔形块[1]上底边[9]厚度相同的通槽[13]，通槽[13]中嵌入楔形块[1]；卡具主体[4]上半部与下半部接壤处的外缘上沿凸耳[8]向卡具主体[4]中心开狭槽[6]。