[发明专利]圆环型光子筛及其制作方法无效
| 申请号： | 200710303889.0 | 申请日： | 2007-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN101470270A | 公开（公告）日： | 2009-07-01 |
| 发明（设计）人： | 贾佳;姜骥;谢长青;刘明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G02B27/44 | 分类号： | G02B27/44;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100029*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种圆环型光子筛，该圆环型光子筛是一种在透明介质上，先制造普通的光子筛，然后在每个普通光子筛的衍射孔处刻蚀双圆环位相环，形成有多个同心环带位相衍射单元的位相板。本发明同时公开了一种制作圆环型光子筛的方法。利用本发明，实现了光子筛聚焦衍射的主斑再压缩的光强分布，即实现了激光束远场衍射斑的主斑大小的再压缩。 | ||
| 搜索关键词： | 圆环 光子 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1、一种圆环型光子筛，其特征在于，该圆环型光子筛是一种在透明介质上，先制造普通的光子筛，然后在每个普通光子筛的衍射孔处刻蚀双圆环位相环，形成有多个同心环带位相衍射单元的位相板。
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