[发明专利]一种具有耐腐蚀膜的稀土永磁体的制造方法有效
申请号: | 200710303972.8 | 申请日: | 2007-12-24 |
公开(公告)号: | CN101469428A | 公开(公告)日: | 2009-07-01 |
发明(设计)人: | 王湛;饶晓雷;王浩颉;胡伯平 | 申请(专利权)人: | 北京中科三环高技术股份有限公司 |
主分类号: | C23C28/00 | 分类号: | C23C28/00;H01F1/057;H01F41/02 |
代理公司: | 北京乾诚五洲知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 付晓青;李广文 |
地址: | 100080北京市海淀区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种具有耐腐蚀膜的稀土永磁体的制造方法,所述方法包括:对稀土永磁体工件的表面施以喷砂处理;对喷砂过的永磁体工件进行抽真空,在惰性气体下利用离子源对磁体进行离化轰击;离化轰击后,在真空条件下,对铝材进行蒸发;并且在蒸发过程中同时开启电弧电源轰击铬靶块,加载一定的轰偏电压,形成离子流,使铝材蒸发的铝蒸汽离化,以使永磁体工件的表面形成镀层沉积。本发明显著地改善了磁体表面膜层与磁体的结合力,以使磁体在120℃、100%湿度、两个大气压PCT的高压、加速腐蚀试验下表现出优异的抗腐蚀性。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 腐蚀 稀土 永磁体 制造 方法 | ||
【主权项】:
1、一种具有耐腐蚀膜的稀土永磁体的制造方法,所述制造方法包括如下步骤:(1)对稀土永磁体工件的表面施以喷砂处理;(2)对喷砂过的永磁体工件进行抽真空,在惰性气体下利用离子源对磁体进行离化轰击;(3)离化轰击后,在真空条件下,对铝材进行蒸发,将蒸发源垂直方向匀速往复运动;并且在蒸发过程中同时开启电弧电源轰击铬靶块,在装载工件和真空室金属外壳炉体上加载一定的轰偏电压,形成离子流,使铝材蒸发的铝蒸汽离化,以使永磁体工件的表面形成镀层沉积。
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