[发明专利]在蓝宝石上生长大尺寸高质量氧化锌单晶厚膜的方法无效
| 申请号： | 200710304214.8 | 申请日： | 2007-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN101469448A | 公开（公告）日： | 2009-07-01 |
| 发明（设计）人： | 何金孝;段尭;曾一平;李晋闽;王晓峰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | C30B29/16 | 分类号： | C30B29/16;C30B29/48;C30B25/18;H01L31/0296;H01L31/18 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100083北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明是一种在蓝宝石衬底上生长大尺寸高质量氧化锌单晶厚膜的方法。该方法包括步骤：1)用醋酸锌、聚乙烯醇和去离子水配成胶体溶液；2)取表面清洁的蓝宝石衬底在去离子水中浸泡一定时间；3)用甩胶机在C面蓝宝石衬底上均匀的甩上一层醋酸锌-聚乙烯醇胶体溶液；4)胶体溶液干燥后，对其进行高温退火；5)用湿法刻蚀经过3步骤退火后的衬底，刻蚀完用去离子水漂洗，甩干；6)用金属源化学气相外延生长工艺(MVPE)在甩干后的蓝宝石衬底上生长氧化锌单晶厚膜。该方法具有工艺及设备简单、成本低和可重复性高等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 生长 尺寸 质量 氧化锌 单晶厚膜 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种在蓝宝石上生长大尺寸高质量氧化锌单晶厚膜的方法，其特征在于，包括步骤：1)用醋酸锌、聚乙烯醇和去离子水配成胶体溶液；2)取表面清洁的蓝宝石衬底在去离子水中浸泡一定时间；3)用甩胶机在C面蓝宝石衬底上均匀的甩上一层醋酸锌-聚乙烯醇胶体溶液；4)胶体溶液干燥后，对其进行高温退火；5)用湿法刻蚀经过3步骤退火后的衬底，刻蚀完用去离子水漂洗，甩干；6)用金属源化学气相外延生长工艺(MVPE)在甩干后的蓝宝石衬底上生长氧化锌单晶厚膜。
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