[发明专利]一种故障检测的方法和系统有效
| 申请号： | 200710304377.6 | 申请日： | 2007-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN101470426A | 公开（公告）日： | 2009-07-01 |
| 发明（设计）人： | 陈卓 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G05B19/048 | 分类号： | G05B19/048;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 苏培华;逯长明 |
| 地址： | 100016北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种故障检测的方法和系统，所述方法可以包括：采集多个参数的实时数据；将所述多个参数变换为至少一个参数组合，每个参数组合中至少包括两个参数；计算得到针对所述参数组合的一个指标参数；判断该指标参数是否在阈值范围内，如果超过阈值范围，则确认当前时间点出现故障。本发明在进行工艺的实时过程中，对每一个实时数据进行多变量分析，从而确保不会丢失工艺过程中的瞬间数据，及时发现有问题的信息。另外，本发明使用了多变量的方法进行监控，不仅考虑了每一个参数的变化，而且考虑了各参数之间的关联，可以提高检测灵敏度，并有效的防止误报警。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 故障 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
1、一种故障检测的方法，其特征在于，包括：采集多个参数的实时数据；将所述多个参数变换为至少一个参数组合，每个参数组合中至少包括两个参数；计算得到针对所述参数组合的一个指标参数；判断该指标参数是否在阈值范围内，如果超过阈值范围，则确认当前时间点出现故障。
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