[发明专利]火焰喷雾热分解薄膜制备设备

摘要

一种火焰喷雾热分解薄膜制备设备。包括：下平台上设有围壁，上平台通过移动调整装置设置在下平台的围壁上，与所述下平台及围壁形成反应室；上平台上设有火焰喷嘴，火焰喷嘴的喷雾口及火焰口设置在所述反应室内，与下平台上设置的衬底相对应，火焰喷嘴的进料管通过管路及雾化调节器与雾化装置连接；火焰喷嘴的燃料管通过管路及燃料调节器与燃料供给装置连接；下平台上的衬底处设有测温装置，下平台上设有与所述反应室内部连通的抽气孔，抽气孔与抽气装置连接。该设备的火焰喷嘴喷出燃料燃烧时将从喷雾口中喷出的薄膜材料经高温火焰分解后喷射到衬底上形成均匀的薄膜，火焰对形成薄膜直接加热退火，可制备较大面积薄膜，亦可直接在墙体上制备薄膜。

主权项

1、一种火焰喷雾热分解薄膜制备设备，其特征在于，该设备包括：火焰喷嘴(1)、下平台(3)、衬底(2)、上平台(8)、燃料供给装置(6)、燃料调节器(11)、雾化装置(5)、雾化调节器(10)、移动调整装置(7)、测温装置(13)和抽气装置(15)构成；下平台(3)上设有围壁(9)，上平台(8)通过移动调整装置(7)设置在下平台(3)的围壁(9)上，与所述下平台(3)及围壁(9)形成反应室；上平台(8)上设有火焰喷嘴(1)，火焰喷嘴(1)的喷雾口及火焰口设置在所述反应室内，与下平台(3)上设置的衬底(2)相对应，火焰喷嘴(1)的进料管通过管路及雾化调节器(10)与雾化装置(5)连接；火焰喷嘴(1)的燃料管通过管路及燃料调节器(11)与燃料供给装置(6)连接；下平台(3)上的衬底(2)处设有测温装置(13)，下平台(3)上设有与所述反应室内部连通的抽气孔(14)，抽气孔(14)与抽气装置(15)连接。