[发明专利]甩胶喷雾热分解薄膜制备设备无效
申请号: | 200710304426.6 | 申请日: | 2007-12-27 |
公开(公告)号: | CN101245454A | 公开(公告)日: | 2008-08-20 |
发明(设计)人: | 武光明;朱江 | 申请(专利权)人: | 北京石油化工学院 |
主分类号: | C23C20/00 | 分类号: | C23C20/00 |
代理公司: | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人: | 郑立明;孟丽娟 |
地址: | 102617北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开一种甩胶喷雾热分解薄膜制备设备。该设备包括:固定衬底的转盘设置在转动装置的转轴上,转盘上方设有喷嘴和测温装置,喷嘴及测温装置与转盘上固定的衬底相对应,转盘、喷嘴及测温装置均设置在反应室内;所述喷嘴通过管路与反应室外的雾化装置连接;测温装置与控温装置连接;转盘下方的反应室上设有加热装置,加热装置与所述控温装置连接;所述加热装置与转动装置的机体之间的转轴上设有隔热用的冷却装置;所述反应室上设有与外部抽气装置连接的抽气孔。该设备以甩胶喷雾热分解的方式制备薄膜,对制备薄膜直接加热,使其不龟裂、且避免污染,并可根据需要加厚,制备时可准确控温,通过冷却装置散热,避免了热传导对转动装置的影响。 | ||
搜索关键词: | 喷雾 分解 薄膜 制备 设备 | ||
【主权项】:
1、一种甩胶喷雾热分解薄膜制备设备,其特征在于,该设备包括:反应室、测温装置(1)、喷嘴(2)、转盘(4)、加热装置(5)、冷却装置(6)、雾化装置(12)、转动装置(11)、控温装置(14)和抽气装置(17)构成;固定衬底(3)的转盘(4)设置在转动装置(11)的转轴(10)上,转盘(4)上方设有喷嘴(2)和测温装置(1),喷嘴(2)及测温装置(1)与转盘(4)上固定的衬底(3)相对应,转盘(4)、喷嘴(2)及测温装置(1)均设置在反应室内;所述喷嘴(2)通过管路与反应室外的雾化装置(12)连接;测温装置(1)与控温装置(14)连接;转盘(4)下方的反应室上设有加热装置(5),加热装置(5)与所述控温装置(14)连接;所述加热装置(5)与转动装置(11)的机体之间的转轴(10)上设有隔热用的冷却装置(6);所述反应室上设有与外部抽气装置(17)连接的抽气孔(18)。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C20-00 通过固态覆层化合物抑或覆层形成化合物悬浮液分解且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C20-02 .镀金属材料
C23C20-06 .镀金属材料以外的无机材料
C23C20-08 ..镀化合物、混合物或固溶体,例如硼化物、碳化物、氮化物
C23C20-04 ..镀金属
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