[发明专利]一种三氟酸盐-金属有机沉积制备高温超导薄膜的方法

摘要

一种三氟酸盐-金属有机沉积制备高温超导薄膜的方法，是一种高效率的、以化学方法制备高温超导薄膜方法。其核心内容是在传统的三氟酸盐-金属有机沉积(TFA-MOD)工艺中，引入甲醇和松油醇作为溶剂，配制前驱溶液。利用本发明的前驱液进行YBCO高温超导薄膜的MOD制备，可以将热处理时间由过去的20个小时减少到4个小时左右，极大简化了工艺过程降低了材料成本，制备薄膜的性能可与传统方法制备的薄膜性能基本相同。因而是一种新的、以MOD方式快速制备高性能高温超导薄膜的方法。

主权项

1、一种三氟酸盐-金属有机沉积制备高温超导薄膜的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：第一步骤，按照Y:Ba:Cu＝1:2:3的摩尔比例把Y(CH3COO)3、Ba(CH3COO)2和Cu(CH3COO)2混合，室温溶于含20-30摩尔％的三氟乙酸的去离子水中配成溶液；第二步骤，将上述溶液经回流均匀后，于空气中自然蒸发为凝胶；第三步骤，将上述凝胶加入甲醇和松油醇的混合液中形成前驱液，制成Y、Ba和Cu三种金属离子浓度为1.0mol/L～1.5mol/L的前驱液，其中，甲醇和松油醇的摩尔比为0.9-1.1:0.9-1.1；第四步骤，将上述前驱液涂覆在单晶氧化物或其它适于制备高温超导薄膜的基片上；第五步骤，在400℃～410℃条件下进行4.0-4.2小时的低温热处理，分解三氟乙酸盐；第六步骤，进行750～800℃的高温热处理，合成四方相YBCO薄膜；第七步骤，490℃～510℃、纯氧条件下对薄膜进行退火热处理，制备成YBCO高温超导薄膜。