[发明专利]集成电感结构

摘要

本发明公开了一种集成电感结构，其包括半导体基底以及设于半导体基底上方的电感金属层。半导体基底与电感金属层之间设有介电层。于电感金属层正下方的半导体基底中，设有阱防护层，包括多个小区块N型离子阱以及多个小区块P型区域，彼此相间重复排列组合，呈现棋盘状布局。在半导体基底中，设置有环绕着阱防护层的P⁺拾取环。在P⁺拾取环的正上方则设有保护环，其由多层金属层及插塞所构成。

主权项

1. 一种集成电感结构，包括：半导体基底；电感金属层，设于该半导体基底上；至少一介电层，介于该半导体基底与该电感金属层之间；以及阱防护层，设于该电感金属层正下方的该半导体基底中，该阱防护层包括呈棋盘状排列的多个N型掺杂区域以及多个P型掺杂区域。