[发明专利]基板运送装置无效
| 申请号： | 200710305617.4 | 申请日： | 2007-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN101468758A | 公开（公告）日： | 2009-07-01 |
| 发明（设计）人： | 郑瑞忠 | 申请（专利权）人： | 元太科技工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;B65G47/91;B65G1/04;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 梁 挥;祁建国 |
| 地址： | 台湾省新竹市*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种基板运送装置，包含一基台、数个叉架与数个结件。其中，叉架平行设置于基台的侧面。而结件则分布于叉架上。采用本发明基板运送装置，可同时完成多个基板的取放与运送作业。 | ||
| 搜索关键词： | 运送 装置 | ||
【主权项】：
1、一种基板运送装置，其特征在于，包含：一基台；数个叉架，平行设置于该基台的侧面；以及数个结件，分布于该些叉架上。
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