[发明专利]制造用于液晶显示器件的阵列基板的方法有效
申请号: | 200710306349.8 | 申请日: | 2007-12-28 |
公开(公告)号: | CN101266950A | 公开(公告)日: | 2008-09-17 |
发明(设计)人: | 金珍郁 | 申请(专利权)人: | LG.菲利浦LCD株式会社 |
主分类号: | H01L21/84 | 分类号: | H01L21/84;H01L21/768;H01L21/3105;H01L21/311;G03F7/00;G02F1/1362 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人: | 徐金国;梁挥 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 一种制造用于液晶显示器件的阵列基板的方法,包括:在基板上形成栅极线、与栅极线交叉的数据线以及与栅极线和数据线相连的薄膜晶体管;在栅极线、数据线和薄膜晶体管上形成有机绝缘材料层,该有机绝缘材料具有光固化性、柔韧性和动态稳定性;在有机绝缘材料层上方设置具有凸起部分的印模;将凸起部分插入有机绝缘材料层内以利用反润湿现象将有机绝缘材料层从凸起部分推出;将紫外射线辐射在有机绝缘材料层上以固化有机绝缘材料层;从有机绝缘材料层去除印模以形成具有漏极接触孔的钝化层,该漏极接触孔暴露薄膜晶体管的漏极;以及在钝化层上形成像素电极,像素电极通过漏极接触孔与漏极相连。 | ||
搜索关键词: | 制造 用于 液晶显示 器件 阵列 方法 | ||
【主权项】:
1.一种制造用于液晶显示器件的阵列基板的方法,包括:在基板上形成栅极线、与栅极线交叉的数据线以及与栅极线和数据线相连的薄膜晶体管;在栅极线、数据线和薄膜晶体管上形成有机绝缘材料层,该有机绝缘材料具有光固化性、柔韧性和动态稳定性;在有机绝缘材料层上方设置具有凸起部分的印模;将该凸起部分插入该有机绝缘材料层内以利用反润湿现象将有机绝缘材料层从凸起部分推出;将紫外射线辐射在有机绝缘材料层上以固化该有机绝缘材料层;从有机绝缘材料层去除印模以形成具有漏极接触孔的钝化层,该漏极接触孔暴露薄膜晶体管的漏极;以及在钝化层上形成像素电极,该像素电极通过漏极接触孔与漏极相连。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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