[发明专利]制造用于液晶显示器件的阵列基板的方法有效

专利信息
申请号: 200710306349.8 申请日: 2007-12-28
公开(公告)号: CN101266950A 公开(公告)日: 2008-09-17
发明(设计)人: 金珍郁 申请(专利权)人: LG.菲利浦LCD株式会社
主分类号: H01L21/84 分类号: H01L21/84;H01L21/768;H01L21/3105;H01L21/311;G03F7/00;G02F1/1362
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 代理人: 徐金国;梁挥
地址: 韩国*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 一种制造用于液晶显示器件的阵列基板的方法,包括:在基板上形成栅极线、与栅极线交叉的数据线以及与栅极线和数据线相连的薄膜晶体管;在栅极线、数据线和薄膜晶体管上形成有机绝缘材料层,该有机绝缘材料具有光固化性、柔韧性和动态稳定性;在有机绝缘材料层上方设置具有凸起部分的印模;将凸起部分插入有机绝缘材料层内以利用反润湿现象将有机绝缘材料层从凸起部分推出;将紫外射线辐射在有机绝缘材料层上以固化有机绝缘材料层;从有机绝缘材料层去除印模以形成具有漏极接触孔的钝化层,该漏极接触孔暴露薄膜晶体管的漏极;以及在钝化层上形成像素电极,像素电极通过漏极接触孔与漏极相连。
搜索关键词: 制造 用于 液晶显示 器件 阵列 方法
【主权项】:
1.一种制造用于液晶显示器件的阵列基板的方法,包括:在基板上形成栅极线、与栅极线交叉的数据线以及与栅极线和数据线相连的薄膜晶体管;在栅极线、数据线和薄膜晶体管上形成有机绝缘材料层,该有机绝缘材料具有光固化性、柔韧性和动态稳定性;在有机绝缘材料层上方设置具有凸起部分的印模;将该凸起部分插入该有机绝缘材料层内以利用反润湿现象将有机绝缘材料层从凸起部分推出;将紫外射线辐射在有机绝缘材料层上以固化该有机绝缘材料层;从有机绝缘材料层去除印模以形成具有漏极接触孔的钝化层,该漏极接触孔暴露薄膜晶体管的漏极;以及在钝化层上形成像素电极,该像素电极通过漏极接触孔与漏极相连。
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