[发明专利]压力传感器膜片及其制造方法无效
| 申请号： | 200710307264.1 | 申请日： | 2007-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN101264859A | 公开（公告）日： | 2008-09-17 |
| 发明（设计）人： | R·W·克拉多克;P·K·金尼尔 | 申请（专利权）人： | 通用电气公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;G01L9/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 曾祥夌;刘华联 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种制造压力传感器膜片的方法。在第一基底的第一表面蚀刻出一条或多条沟槽。所述沟槽被变成具有抗蚀刻性。然后在第一基底地相反的第二表面形成空腔，从而限定由框架支撑的膜片，所述膜片具有一个或多个用来加强隔膜的中空凸台。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 膜片 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制造压力传感器膜片的方法，所述方法包括：在第一基底的第一表面中蚀刻出一条或多条沟槽；使所述沟槽变得具有抗蚀刻性；以及在所述第一基底的相反的第二表面中蚀刻出空腔，从而限定由框架支撑的膜片，所述膜片具有一个或多个用来加强所述隔膜的中空凸台。
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