[实用新型]方形基片涂胶单元中的自动扣盖机构无效
| 申请号： | 200720016328.8 | 申请日： | 2007-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN201132153Y | 公开（公告）日： | 2008-10-15 |
| 发明（设计）人： | 陈焱 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | B05C21/00 | 分类号： | B05C21/00;B05C13/02 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人： | 张志伟 |
| 地址： | 110168辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及方形基片涂胶领域，具体为一种方形基片涂胶单元中的自动扣盖机构，应用于方形基片(如光刻掩膜板、平板显示器)涂胶工艺中涂胶腔体自动扣盖和开启功能。该自动扣盖机构设有内盖和外盖两层盖结构，外盖中心开孔，其上表面设有定位销子Ⅰ；内盖中心通过连接件穿过外盖中心孔连有定位板，定位板通过其上开设的销孔与外盖上的定位销子Ⅰ相对应；方形基片涂胶单元的承片台上安装旋转盖板，旋转盖板表面设有定位销子Ⅱ，内盖通过其上开设的销孔与旋转盖板上的销子Ⅱ相对应。本实用新型整个扣盖机构由一气缸驱动上下运动，可以完成自动扣盖和开启动作，它解决了方形基片的均匀涂胶等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 方形 涂胶 单元 中的 自动 机构 | ||
【主权项】：
1、一种方形基片涂胶单元中的自动扣盖机构，其特征在于：该自动扣盖机构设有内盖(6)和外盖(7)两层盖结构，外盖(7)中心开孔，其上表面设有定位销子I(9)；内盖(6)中心通过连接件穿过外盖(7)中心孔连有定位板(11)，定位板(11)通过其上开设的销孔与外盖(7)上的定位销子I(9)相对应；方形基片涂胶单元的承片台(3)上安装旋转盖板(4)，旋转盖板(4)表面设有定位销子II(10)，内盖(6)通过其上开设的销孔与旋转盖板(4)上的销子II(10)相对应。
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