[实用新型]XY轴直线型真空调频机无效
| 申请号： | 200720025177.2 | 申请日： | 2007-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN201113934Y | 公开（公告）日： | 2008-09-10 |
| 发明（设计）人： | 陈罡 | 申请（专利权）人： | 烟台开发区金威科技开发有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/00 | 分类号： | H03H9/00;H03H3/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 264006山东省烟*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种真空调频机，属于电子行业－真空调频设备技术领域。包括由底版3、真空室壁19、上盖板20构成的真空室，真空室内设有连接带动承载体夹具托盘10分别在X方向、Y方向步进移动的X方向步进移动装置、Y方向步进移动装置，X方向步进移动装置、Y方向步进移动装置通过支撑架5连接在底版3上，与真空室连接的固定支撑架21上连接有被调频体频率探测装置，被调频体频率探测装置位于夹具托盘10上的夹具16上方，夹具16下方设有蒸发盒8与蒸发电极7构成的银蒸发装置。本实用新型省去许多密封与机械结构；单位面积下得到更多的利用空间，大大提高工作效率；接触方式改为通过控制电机带动凸轮，运动速度快，测量准确。 | ||
| 搜索关键词： | xy 线型 真空 调频 | ||
【主权项】：
1. XY轴直线型真空调频机，特征在于，包括由底版(3)、真空室壁(19)、上盖板(20)构成的真空室，真空室内设有连接带动承载体夹具托盘(10)分别在X方向、Y方向步进移动的X方向步进移动装置、Y方向步进移动装置，X方向步进移动装置、Y方向步进移动装置通过支撑架(5)连接在底版(3)上，与真空室连接的固定支撑架(21)上连接有被调频体频率探测装置，被调频体频率探测装置位于夹具托盘(10)上的夹具(16)上方，夹具(16)下方设有蒸发盒(8)与蒸发电极(7)构成的银蒸发装置。
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