[实用新型]一种可抑制化学气相沉积预反应的进气蓬头

摘要

本实用新型公开了一种可抑制化学气相沉积预反应的进气蓬头，包括一本体，所述本体上设置有喷气口，本体边缘处设有冷却水入口和出水口，其特征在于：所述本体内设有冷却水容腔，本体底面均布有至少4条径向设置的由复数个喷气口组成的气道，对应于每一气道上方设有一个覆盖喷气口的罩体，对应每一罩体在本体顶面设有入气口，入气口经进气管连通至罩体与气道间的空腔内，构成入气通道；所述本体顶面对应于冷却水入口与出口分别设有与冷却水容腔连通的进水管及出水管，构成冷却水通道。本实用新型通过各自独立的进气通道及对入气口起冷却作用的冷却水通道，实现对原料气预反应的抑制，从而提高薄膜的质量。

主权项

1.一种可抑制化学气相沉积预反应的进气蓬头，包括一本体[4]，所述本体上设置有喷气口[5]，本体边缘处设有冷却水入水口[11]和出水口[12]，其特征在于：所述本体内设有冷却水容腔[10]，本体底面均布有至少4条径向设置的由复数个喷气口[5]组成的气道，对应于每一气道上方设有一个覆盖喷气口的罩体[6]，对应每一罩体在本体顶面设有入气口[3]，入气口经进气管连通至罩体与气道间的空腔内，构成入气通道；所述本体顶面对应于入水口[11]与出水口[12]分别设有与冷却水容腔连通的进水管[2]及出水管[8]，构成冷却水通道。