[实用新型]激光精密加工的匀光系统无效

专利信息
申请号: 200720034954.X 申请日: 2007-03-02
公开(公告)号: CN201020601Y 公开(公告)日: 2008-02-13
发明(设计)人: 赵裕兴;徐海宾 申请(专利权)人: 苏州德龙激光有限公司
主分类号: B23K26/06 分类号: B23K26/06;B23K26/067;B23K26/073
代理公司: 南京苏科专利代理有限责任公司 代理人: 陈忠辉
地址: 215021江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型提供了一种激光精密加工的匀光系统,包括激光器、分光组件、扩束镜和聚焦镜,分光组件设置在激光器和扩束镜之间,聚焦镜安装在扩束镜的出光口,其特点是:所述激光器为355nm的紫外激光器,所述分光组件由两片平行放置的独立反射镜片组成,两个独立反射镜的夹持装置具有轴向旋转微调机构,使在X-Y平面分离光斑以一定的间距对称分布并且该对称轴与X轴成45度夹角。本实用新型实现了类方形槽的划槽功能,充分利用光斑能量,扩展了激光束的刻槽尺寸范围,提高了激光刻槽设备的灵活性,方便地实现切割不同宽度和深度的槽;经济效益和社会效应显著,其应用前景美好。
搜索关键词: 激光 精密 加工 系统
【主权项】:
1.激光精密加工的匀光系统,包括激光器、分光组件、扩束镜和聚焦镜,分光组件设置在激光器和扩束镜之间,聚焦镜安装在扩束镜的出光口,其特征在于:所述激光器为355nm的紫外激光器,所述分光组件由两片平行放置的独立反射镜片组成,两个独立反射镜的夹持装置具有轴向旋转微调机构,使在X-Y平面分离光斑以一定的间距对称分布并且该对称轴与X轴成45度夹角。
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