[实用新型]一种改进型光阻瓶装置无效
| 申请号： | 200720069181.9 | 申请日： | 2007-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN201035317Y | 公开（公告）日： | 2008-03-12 |
| 发明（设计）人： | 洪伟;郝斌荣 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种改进型光阻瓶装置，涉及一种容器。目前所有的同类型的光阻瓶都采用平底设计，以至于最后瓶底剩余的一层光阻由于无法克服自身的重力作用平铺于瓶底无法流出瓶中，造成浪费。本实用新型的光阻瓶装置包括：光阻瓶，设置于光阻瓶口的密封盖，以及穿过密封盖进入光阻瓶内部的气体输入管道及光阻输出管道，所述光阻输出管道的一端为楔型，且深入光阻瓶的底部，所述光阻瓶的底部为向外突出的半球型底部。较佳地，所述的光阻瓶装置还有一个和光阻瓶相配合的底座，其底面为平面。使用本实用新型的光阻瓶装置，可以有效降低光阻在瓶中的残留量，使光阻尽可能被利用，减少浪费，也就降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改进型 瓶装 | ||
【主权项】：
1.一种改进型光阻瓶装置，它包括：光阻瓶，设置于光阻瓶口的密封盖，以及穿过密封盖进入光阻瓶内部的气体输入管道及光阻输出管道，所述光阻输出管道的一端深入光阻瓶的底部，其特征是：所述光阻瓶的底部向外突出。
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